Anaerobní trouba

Popis

Řada pecí Inert Atmosphere Oven se používá ve výrobě polovodičů pro předúpravu křemíkových plátků, arsenidu galia, niobátu lithného, ​​skla před PR potahem, vypalování tvrdého filmu po PR potažení a vysokoteplotní vypalování po vyvolání; Je také vhodný pro výrobní a vědeckovýzkumná oddělení, jako jsou elektronické displeje z tekutých krystalů, LCD, CMOS, IS a laboratoře; může být také použit pro sušení, tepelné zpracování, stárnutí a další vysokoteplotní testy netěkavých, nehořlavých a nevýbušných předmětů.

Hlavní parametry

►Technické parametry

Kapacita: Přizpůsobeno podle produktů

Teplotní rozsah: Okolní +50°C ~ 250°C

Obsah kyslíku: ≤50 ppm

Rovnoměrnost teploty: ±2,5 %

Rychlost náběhu: ovladatelná

Vstup dusíku: Φ8

Průtok dusíku: 0-240L/min * 2 kanály

►Struktura

. Vnitřní prostor trouby: Vyrobeno z nerezové oceli a bezešvě svařeno argonem.

. Hermeticky uzavřená: Komora je utěsněna, aby se snížila hladina kyslíku.

. Struktura sání vzduchu: Umožňuje neoxidačním plynům naplnit komoru.

. O2 analyzátor: přesně upravte hladiny kyslíku mezi 0,5~ 21%

► Systém regulace teploty

Inteligentní japonský regulátor teploty RKC, programování a nastavení pevné hodnoty, automatické ladění AT, korekce offsetu a zachování vypnutí.

► Nucená konvekce vzduchu

Patentovaný vzduchový kanál v systému cirkulace horkého vzduchu dokáže automaticky upravit rovnoměrnost teploty.

Funkce pro anaerobní (inertní) pece

► Hermeticky uzavřené nerezové studio zabraňující pronikání vnější atmosféry

► Použijte dusíkový inertní plyn pro anaerobní tepelné zpracování

► Průtokoměr a manometr jsou vybaveny

► Vícenásobná ochranná zařízení

Možnosti

► PLC+7” programovatelný automat

► Tříbarevný alarm s blikajícím světlem

► Omezovač přehřátí

► Ruční bezpečnostní zařízení

Proč zvolit trouby Inert Atmosphere?

V dnešní době se elektroinstalační materiály v obvodech posunuly z hliníku na měď s nižším měrným odporem. Proto při tepelném zpracování v normální sušicí peci mohou měděné části oxidovat a způsobit vady. Kromě toho se také provádí stárnutí při 250 °C, aby se zkontrolovalo, zda data zapsaná na flash paměti nebyla vymazána v důsledku elektromigrace a zda nejsou nárazové části oxidované, takže obsah kyslíku musí být snížen na <100 ppm. Tato anaerobní pec byla vyvinuta, aby splnila tyto požadavky.

Aplikace

Pece Inert Atmosphere Ovens se používají hlavně pro vytvrzování BPO lepidla/PI lepidla/BCB lepidla, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, vysoce přesné elektronické součástky a další materiály v prostředí s nízkým obsahem kyslíku pro testy sušení a stárnutí. .